| 产品描述 | 核心价值及产品亮点 | 功能特性 |
产品描述
cvRMS（Recipe Management System）是一款能满足12寸半导体工厂设备自动化运营要求的配方管理系统，它能降低设备配方选取风险。该系统实现了配方自动选择、自动加载以及参数校验功能，可显著减轻作业人员负担。其目的在于为工厂生产智能化赋能，提高生产效率，降低生产成本。
核心价值及产品亮点
核心价值
● 严格遵循行业标准：严格遵循 E42/E139 等 Spec 标准，确保系统在功能实现、数据交互以及设备对接等方面具备高度的规范性和兼容性，可无缝融入现有的半导体生产体系，与其他遵循相同标准的设备和系统协同工作，保障生产流程的顺畅与稳定。
● 降低开发耦合度：对设备Recipe（配方）依据设备Type（类型）或具体设备进行Lib（库）开发，然后通过RMS服务统一管理。这种方式有效降低了与EAP（设备自动化程序）开发之间的耦合度，使得RMS 和 EAP 的开发工作可以相对独立进行，提高开发效率，减少因一方变动而对另一方产生的影响，便于系统的维护和升级。
● 全面的管理功能：提供Recipe与EC/SV管理功能。一方面，实现对设备配方的全生命周期管理，包括配方的创建、修改、存储、调用等；另一方面，对设备配置和状态变量进行实时监控与管理，确保设备始终处于最佳运行状态，为生产过程的稳定性和产品质量提供有力保障。
● 集群化管理保障稳定性：采用集群化管理模式，将多个 RMS 服务器组成集群。通过这种方式有效降低因单个Server Down（服务器宕机）造成的风险。当某台服务器出现故障时，集群中的其他服务器能够迅速接管其工作，确保系统的持续运行，保障生产的连续性，避免因服务器故障导致的生产中断和经济损失。
● 卓越灵活性：兼容性强，支持不同设备的Recipe解析模块上传与在线解析，能快速处理各类设备配方数据，助力企业多元化设备应用；
● 功能丰富多样：全面管理和维护设备Recipe、临时Recipe和Golden Recipe，有完善操作日志记录功能，便于追溯审计；严格权限管理，保障数据安全和生产秩序。
● 系统稳定且跨平台：采用成熟的系统架构保障软件稳定，降低故障概率。服务端和客户端支持Windows、Linux 等多种操作系统及各类设备，使用不受限。
● 强大的支持与维护：具备专业技术团队提供全面的技术支持，随时响应解决问题，持续研发迭代产品，紧跟只能制造工厂的智能化控制和数据分析需求，助力企业智能制造升级。
功能特性
● 严格遵循标准：参考 E42、E139 标准，实现了各类 RMS 系统功能，可满足不同Recipe 结构在 RMS 系统中的统一管理，确保不同设备和生产场景下的配方数据都能被有效整合与运用。
● 解析模块在线管理：RMS 服务端的解析模依根据设备型号进行分类管理，不仅降低了 EAP 的负载，还减少了 EAP 开发与 RMS 的耦合度，提升系统整体运行效率与开发灵活性。
● 数据存储与管理：具备对设备 Model、设备以及 Recipe 版本等信息的搜集与储存管理功能，集中保存所有 Recipe Data，方便统一调用与管理。
● 设备与 Recipe 交互：新增设备时，支持从 RMS 中将保存的 Recipe 的下载到机台；设备添加新 Recipe 时，能将相关 Recipe信息上传并储存在RMS，实现设备与系统间的双向数据流通。
● 格式转换与分组：可将设备制造商、各设备Type的不同 Recipe Format 转换为 RMS Common Format，并对不同类型的 Recipe 结构进行自由分组和统一逻辑处理，方便数据的统一管理与分析。
● 解析库支持：拥有不同设备类型的 Data Parser Library，为不同设备和类型的 Recipe 解析提供有力支持。
● 对比功能：对任意两个 Recipe，基于 Parameter List / Value 和 Spec 等多种基准进行比较，帮助用户快速发现差异。
● 版本管理：通过版本管理功能，仅激活使用所需的 Recipe，避免混淆，确保生产使用的准确性。
● 变更及签核流程：系统中可通过变更请求和批准流程使 Recipe 的更改事项生效。
● 权限管理：对各功能进行严格的权限管理及批准，保证只有授权人员可进行相关操作。
● 记录内容：涵盖 EC 校验履历、Recipe 变更记录、RecipeSpec 校验记录以及 Recipe 对比等信息，全面记录 Recipe 相关变动。
● 实时查询：在发生 Recipe 变动或校验时，提供实时查询功能，方便用户及时掌握情况。
● 支持C/S，B/S两种模式，满足不同用户的使用习惯和场景需求。
● 兼容 Windows、 Android、 iOS 等常用操作系统平台，方便用户在不同设备上使用。
● 支持工厂设备模型数据维护；
● 支持 Recipe 数据管理查看；
● 支持 Recipe 解析模块上传和下载；
● 支持自动 Download功能，在 Run 货时收到 EAP 请求，自动下载指定的 Recipe。
图1 - 设备配方管理
图2 - 配方验证履历
图3 - Golden Recipe 参数详情查看
图4 - 配方权限管理