产品介绍

    珂阳虚拟量测 VM（Virtual Metrology）系统利用新一代Fab大数据底座技术体系，结合国际先进的工业人工智能、工业系统建模、模拟仿真技术，打造了一套完整的AI预测生态。该产品从数据采集、数据预处理，AI模型建模、训练、调优，模型部署和更新，结合丰富的半导体经验，构建了一系列完整的业务流程，突破了AI技术在半导体、泛半导体生产制造落地过程中面临的诸多挑战和技术难题，解决了传统物理量测的一系列缺陷。

产品亮点

1.丰富的算法集成

提供数理统计, 机器学习, 回归模型, 分类模型等

2.工作流的建模方式

采用拖拽式建模方式，让建模工作更加便捷、直观

3.Hybrid DB(混合型数据库）

支持结构型、非结构型数据库，在国产化背景需求下，同时适配国产数据库

4.支持多种算法语言

支持R和Python，根据语言的类型进行动态执行

5.并发及分布式执行消息处理模式

基于异步消息的通信，支持并发和分布式执行

预期效果

1. 大幅降低量测设备费用

量测设备成本约占半导体厂设备采购总费用的10%，如果设备采购总成本在100亿，节省10%的量测设备可直接节省1亿的成本

2. 大幅提高量测效率

传统的样本规则量测耗时长，效率低，而VM利用AI, 模拟仿真等先进IT技术可提前预测工艺结果

3. 大幅提升产品良率

相较于传统物理抽样量测覆盖率25%（一般而言），VM 可以做到100%全量检，从而避免因遗漏而发生的质量问题

4. 支持跨工艺高效推广

在确定工艺机理后，相同的建模方法可应用于不同的工艺检测环节

功能特性